三氟甲烷 （CHF3)
项目名称 | 纯度指标（%） |
| 三氟甲烷 | ≥99.999 | ≥99.9 |
杂质含量（ppm) | 水（H2O） | ≤3 | ≤10 |
| 氧气（O2） | ≤2 | - |
氮气（N2） | ≤5 | - |
| 二氧化碳（H2SiF6) | ≤3 | ≤100 |
酸度（Acidity) | ≤0.1 | ≤1 |
包装：采用40L、47L钢瓶充装 ，也可根据客户需要分装到8L的气瓶中。
用途：用作电子工业等离子体化学蚀刻剂 、低温（-100℃）制冷剂及氟有机化合物的原料 。
理化性质: 是一种无色、微味 ，不导电的低毒类气体，是理想的卤代烷替代物。高浓度三氟甲烷具有窒息**作用，对脑神经有损害。液体接触时可能引起冻伤 。
注意事项：储存于阴凉、通风的不燃气体专用库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与氧化剂、易（可）燃物分开存放 ，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备 。
