六氟化硫 （SF6)
項目名稱 | 純度指標（%） |
| 六氟化硫 | ≥99.999 | ≥99.99 |
雜質含量（ppm) | 空氣（Air） | ≤5 | ≤30 |
| 水（H2O） | ≤1 | ≤1 |
四氟化碳（CF4) | ≤4 | ≤30 |
| 酸度（Acidity) | ≤0.1 | ≤0.1 |
可水解氟化物（以HF計） | ≤0.1 | ≤0.2 |
| 礦物油（Mineral Oil） | ≤0.5 | ≤0.5 |
包裝
：采用40L
、44L鋼瓶充裝
，也可根據客戶需要
，分裝到2-10L的氣瓶中
。
用途
：在半導體生產中用作高密度等離子刻蝕的氟源
，不會產生含碳副產品
；變壓器中的絕緣介質
；金屬冶煉中的保護氣氛
。
理化性質: 六氟化硫（SF6）常態下是一種無色
、無味
、無嗅
、無毒的非燃燒性氣體
，分子量146.06
，密度6.139g/l
，約為空氣的5倍
。是已知化學**性**的物質之一
，其惰性與氮氣相似。它具有極好的熱穩定性
，純態下即使在500℃以上也不分解
。六氟化硫具有**的電絕緣性和滅弧特性
，相同條件下
，其絕緣能力為空氣
、氮氣的2.5倍以上
，滅弧能力為空氣的100倍
。六氟化硫的熔點為－50.8℃
，可作為－45－0℃溫度範圍內的特殊製冷劑
，又因其耐熱性好
，是一種穩定的高溫熱載體
。
注意事項
：
密閉操作
，局部排風
。操作人員必須經過專門培訓
，嚴格遵守操作規程
。建議操作人員佩戴過濾式防毒麵具（半麵罩）
。遠離易燃
、可燃物
。防止氣體泄漏到工作場所空氣中
。避免與氧化劑接觸
。搬運時輕裝輕卸
，防止鋼瓶及附件破損
。配備泄漏應急處理設備
。
儲存注意事項
：儲存於陰涼
、通風的庫房
。遠離火種
、熱源
。庫溫不宜超過30℃
。應與易（可）燃物
、氧化劑分開存放
，切忌混儲
。儲區應備有泄漏應急處理設備
。
