六氟化硫 （SF6)
项目名称 | 纯度指标（%） |
| 六氟化硫 | ≥99.999 | ≥99.99 |
杂质含量（ppm) | 空气（Air） | ≤5 | ≤30 |
| 水（H2O） | ≤1 | ≤1 |
四氟化碳（CF4) | ≤4 | ≤30 |
| 酸度（Acidity) | ≤0.1 | ≤0.1 |
可水解氟化物（以HF计） | ≤0.1 | ≤0.2 |
| 矿物油（Mineral Oil） | ≤0.5 | ≤0.5 |
包装 ：采用40L、44L钢瓶充装，也可根据客户需要，分装到2-10L的气瓶中。
用途：在半导体生产中用作高密度等离子刻蚀的氟源 ，不会产生含碳副产品；变压器中的绝缘介质 ；金属冶炼中的保护气氛。
理化性质: 六氟化硫（SF6）常态下是一种无色、无味 、无嗅、无毒的非燃烧性气体，分子量146.06，密度6.139g/l ，约为空气的5倍 。是已知化学**性**的物质之一，其惰性与氮气相似 。它具有极好的热稳定性，纯态下即使在500℃以上也不分解。六氟化硫具有**的电绝缘性和灭弧特性 ，相同条件下 ，其绝缘能力为空气、氮气的2.5倍以上，灭弧能力为空气的100倍 。六氟化硫的熔点为－50.8℃，可作为－45－0℃温度范围内的特殊制冷剂，又因其耐热性好，是一种稳定的高温热载体 。
注意事项：
密闭操作 ，局部排风 。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴过滤式防毒面具（半面罩）。远离易燃、可燃物。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂接触。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。
储存注意事项 ：储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源 。库温不宜超过30℃ 。应与易（可）燃物 、氧化剂分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。
