四氟化碳 （CF4)
項目名稱 | 純度指標（%） |
| 四氟化碳 | ≥99.999 |
雜質含量（ppm) | 氧氣（O2） | ≤5 |
| 水（H2O） | ≤2 |
氮氣（N2) | ≤2 |
| 二氧化碳（CO2) | ≤1 |
一氧化碳（CO） | ≤1 |
| 碳氫化合物（THC） | ≤1 |
包裝
：采用47L
、44L鋼瓶充裝
，也可根據客戶需要
，分裝到8L的氣瓶中
。
用途
：四氟化碳是目前微電子工業中用量較大的等離子蝕刻氣體 ,其高純氣及四氟化碳高純氣配高純氧氣的混合氣,可廣泛應用於矽
、二氧化矽
、氮化矽
、磷矽玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻
，在電子器件表麵清洗
、太陽能電池的生產
、激光技術
、氣相絕緣
、低溫製冷
、泄漏檢驗劑
、控製宇宙火箭姿態
、印刷電路生產中的去汙劑等方麵也大量使用
。
理化性質: 在常溫下 , 四氟化碳是無色
、無臭
、不燃的可壓縮性氣體
，揮發性較高
，是較穩定的有機化合物之一
，在 900 ℃時
，不與銅
、鎳
、鎢
、鉬反應
，僅在碳弧溫度下緩慢分解
，微溶於水
，在25℃及0.1Mpa下其溶解度為0.0015%(重量比),然而與可燃性氣體燃燒時,會分解產生有毒氟化物
。
注意事項
：四氟化碳是不燃性壓縮氣體
。儲存於陰涼
、通風倉間內。倉內溫度不宜超過60℃
。遠離火種
、熱源
。防止陽光直射
。應與易燃或可燃物分開存放
。驗收時要注意品名
，注意驗瓶日期
，先進倉的先發用。搬運四氟化碳時輕裝輕卸
，防止鋼瓶及附件破損
。泄漏時
，應迅速撤離泄漏汙染區人員到上風處
，並進行隔離
，嚴格控製出入
。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器
，穿一般作業工作服
。盡可能切斷泄漏源
。合理通風
，加速擴散
。如有可能
，即時使用
。漏氣容器要妥善處理
，修複
、檢驗後再用
。
