氬氣 （Ar)
項目名稱 | 純度指標（%） |
| 氬氣 | ≥99.9999 | ≥99.999 |
雜質含量（ppm) | 氧氣（O2） | ≤0.2 | ≤2 |
| 水（H2O） | ≤0.2 | ≤4 |
| 氮氣（N2） | ≤0.4 | ≤5 |
一氧化碳（CO） | ≤1 | ≤1 |
| 二氧化碳（CO2) | ≤0.5 | ≤1 |
碳氫化合物（THC） | ≤0.1 | ≤2 |
包裝
：采用40L
、49L鋼瓶充裝
，也可根據客戶需要分裝到4-10L的氣瓶中
。
用途
：用於半導體製造工藝中的化學氣相澱積
、晶體生長
、熱氧化
、外延
、擴散
、多晶矽
、鎢化、離子注入
、冶煉
、切割
、焊接等
。
理化性質: 氬氣的性質非常穩定
，既不能燃燒
，也不助燃
。氬本身無毒
，但在高濃度時有窒息作用
。當空氣中氬氣濃度高於33%時就有窒息的危險
。當氬氣濃度超過50%時
，出現嚴重症狀
，濃度達到75%以上時
，能在數分鍾內死亡
。液氬可以傷皮膚
，眼部接觸可引起炎症
。
注意事項
：密閉操作
，提供良好的自然通風條件
。操作人員必須經過專門培訓
，嚴格遵守操作規程
。防止氣體泄漏到工作場所空氣中
。遠離易燃
、可燃物
。搬運時輕裝輕卸
，防止鋼瓶及附件破損
。配備泄漏應急處理設備
。儲存於陰涼
、通風的庫房
。遠離火種、熱源
。庫溫不宜超過30℃
。應與易（可）燃物分開存放
，切忌混儲
。 一般不需特殊防護
，當作業場所空氣中氧氣濃度低於18％時
，必須佩戴空氣呼吸器
、氧氣呼吸器或長管麵具
。
