氩气 （Ar)
项目名称 | 纯度指标（%） |
| 氩气 | ≥99.9999 | ≥99.999 |
杂质含量（ppm) | 氧气（O2） | ≤0.2 | ≤2 |
| 水（H2O） | ≤0.2 | ≤4 |
| 氮气（N2） | ≤0.4 | ≤5 |
一氧化碳（CO） | ≤1 | ≤1 |
| 二氧化碳（CO2) | ≤0.5 | ≤1 |
碳氢化合物（THC） | ≤0.1 | ≤2 |
包装：采用40L、49L钢瓶充装，也可根据客户需要分装到4-10L的气瓶中 。
用途 ：用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长 、热氧化、外延 、扩散、多晶硅、钨化 、离子注入 、冶炼 、切割 、焊接等 。
理化性质: 氩气的性质非常稳定，既不能燃烧，也不助燃。氩本身无毒，但在高浓度时有窒息作用。当空气中氩气浓度高于33%时就有窒息的危险 。当氩气浓度超过50%时 ，出现严重症状，浓度达到75%以上时，能在数分钟内死亡。液氩可以伤皮肤，眼部接触可引起炎症 。
注意事项：密闭操作 ，提供良好的自然通风条件。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。防止气体泄漏到工作场所空气中。远离易燃、可燃物。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。储存于阴凉 、通风的库房 。远离火种、热源 。库温不宜超过30℃。应与易（可）燃物分开存放，切忌混储。 一般不需特殊防护 ，当作业场所空气中氧气浓度低于18％时，必须佩戴空气呼吸器 、氧气呼吸器或长管面具。
