三氯化硼 （BCl3)
項目名稱 | 純度指標（%） |
三氯化硼 | ≥99.999 | ≥99.9 |
雜質含量（ppm) | 氧氣（O2） | ≤1 | - |
氮氣（N2） | ≤4 | - |
二氧化碳（CO2） | ≤2 | - |
| 甲烷（CH4） | ≤0.5 | - |
| 一氧化碳（CO） | ≤0.5 | - |
| 四氯化矽（SiCl4) | - | ≤300 |
| 氯氣（Cl2) | - | ≤10 |
| 其他（Others) | - | ≤500 |
包裝
：采用44L
、47L鋼瓶充裝
，也可根據客戶需要分裝到4-10L的氣瓶中
。
用途：
1
、高純三氯化硼主要用於（矽）半導體器件製造工藝中的擴散摻雜（在高溫下
，經過分解生成硼雜質向矽中擴散
，形成P型半導體）
、離子注入（作為離子注入源
，高能量作用下使硼原子離子化
，產生硼離子束並注入矽形成P型淺結）
、幹法蝕刻（用於Al
、MoSi2
、TaSi2
、TiSi2
、Wsi等材料的蝕刻）等過程
；
2
、可作為許多有機反應中的優良催化劑及醫藥工業的中間體
。
理化性質:
無色發煙液體或氣體（有毒
、不燃）
，有強烈刺激性
、酸性氣味
，易潮解
，在潮濕的空氣中可產生濃密白煙
，在水中分解為鹽酸和硼酸,在醇中分解為鹽酸和硼酸酯, 如作溶媒, 不能使鹽與強酸產生離子作用
。
注意事項
：
1
、嚴加密閉
，操作場所應提供充分的局部排風和全麵通風
，並配備應急處理設備
。操作人員須經過安全培訓
，嚴格遵守操作規程
。建議操作人員帶防毒麵具
，戴橡膠手套
，並防止氣體泄漏到工作場的空氣中
，避免與水接觸
。搬運時要輕拿輕放或用合適的手推車來移動鋼瓶
，一定不要拉
，滾動
，滑動或放倒鋼瓶
，不要試圖抓住氣瓶的蓋來拎起它
。氣瓶在使用的全過程中為固定狀態
，用一個獨立的控製閥安全地從氣瓶內釋放氣體
。一旦鋼瓶接好
，應仔細
，緩慢的打開閥門
。如果使用者在操作氣瓶閥時有困難
，需停止使用
，並與供應商聯係
。 不可將工具(如
：扳手
，螺絲刀
，等)插入鋼瓶蓋內
。否則會損壞閥門並引起泄漏
。 使用可調節的扳手來打開過緊或生鏽的鋼瓶蓋
。不要用明火或其他臨近的熱源加熱鋼瓶的任何部分
。碳鋼
、普通不鏽鋼
、Monel蒙乃爾合金(Ni-Fe-Cu)及銅可以在沒有潮氣的情況下使用
。Ni-Mo-Cr及Ni-Ti-Cr合金(13.2-32%Ni合金)
、鉑及金有很好的抗腐蝕性
，可以在有潮氣的情況下使用
。Kel-F或Teflon(聚四氟乙烯)
、PVC（聚氯乙烯）可以作為墊圈材料
。
2
、儲存於陰涼與通風的安全庫房
。遠離火種
、熱源
，庫溫較好保持在35℃以下（較高存儲溫度不可高於52℃）
。鋼瓶應直立擺放
，保持容器（閥門）密封完好並安裝鋼瓶蓋
。應與其它化學品分開存放
，儲區應備有泄漏應急處理設備
。
