氨氣 （NH3)
項目名稱 | 純度指標（%） |
| 氨氣 | ≥99.99999 | ≥99.999 |
雜質含量（ppm) | 氮氣（N2） | ≤0.01 | ≤3 |
| 氧氣（O2） | ≤0.01 | ≤2 |
碳氫化合物（THC） | ≤0.02 | - |
| 水（H2O) | ≤0.06 | ≤1 |
一氧化碳（CO)) | 0.01 | ≤1 |
| 二氧化碳（CO2） | ≤0.05 | - |
甲烷（CH4） | - | ≤3 |
包裝
：采用40L
、44L
、47L鋼瓶充裝
，也可根據客戶需要
，分裝到8—10L的氣瓶中
。
用途
：用於晶圓清洗
、在CVD過程中生成氮化矽或氮化镓等薄膜
理化性質: 通常為無色有強烈刺激性氣味
，常溫下加壓可液化
，臨界溫度132.9℃
，臨界壓力11.38MPa
，常壓下冷卻到－33.35℃時液化
。液氨揮發性很強
，氣化時吸熱很大
，在－77.75℃時凝固成無色結晶
。氨極易溶於水
，並放出熱量
。氨的水溶液稱為**
，呈弱堿性
，易揮發
。自燃點630℃
，在空氣中遇火能**
。
常溫
、常壓下在空氣中的**極限為16％～28％（體積）
。
注意事項
：
1
、工作時應選用耐腐蝕的工作服
、防堿手套
、眼鏡
、膠鞋
、用硫酸銅或硫酸鋅防毒口罩
，防毒口罩應定期檢查
，以防失效
。
2
、在使用**作業時
，應在作業者身旁放一盆清水
，以防萬一
；在**運輸過程中
，應隨身攜帶2~3隻盛滿3%硼酸液的水壺
，以備急救衝洗
；配製一定濃度**時
，應戴上風鏡
；使用**時
，作業者應在上風處
，防止氨氣刺激麵部
；操作時要嚴禁用手揉擦眼睛
，操作後洗淨雙手
。
3
、配備良好的通風排氣設施
、合適的防爆
、滅火裝置
。
4
、工作場所禁止飲食
、吸煙
、禁止明火
、火花
。
5
、應急救援時
，必須佩帶空氣呼吸器
。
6
、發生泄漏時
，將泄漏鋼瓶的滲口朝上
，防止液態氨溢出
。
7
、加強生產過程的密閉化和自動化
，防止跑
、冒
、滴
、漏。
8
、使用
、運輸和貯存時應注意安全
，防止容器破裂和冒氣
。
9
、現場安裝氨氣監測儀及時**發現
。
