六氟乙烷 （C2F6)
項目名稱 | 純度指標（%） |
| 六氟乙烷 | ≥99.999 |
雜質含量（ppm) | 一氧化碳（CO） | ≤0.5 |
| 二氧化碳（CO2） | ≤0.5 |
水（H2O） | ≤1.5 |
| 酸度（以HF計） | ≤0.1 |
氮氣（N2） | ≤8 |
| 氧氣（O2） | ≤2 |
其他有機物（Other Organics） | ≤0.1 |
包裝
：采用40L
、44L鋼瓶充裝
，也可根據客戶需要分裝到2L-8L的氣瓶中
。
用途
： 用作絕緣氣
、等離子蝕刻劑
，高介電強度冷卻劑
。
理化性質: 無色
、無氣味
、非易燃的氣體
，在24.3℃以上時不能保持液態
，分子量 138.0,沸 點 -78℃,熔 點 -101℃,微溶於水,穩定
。
注意事項
：
一
、泄漏應急處理
：戴自給式呼吸器
，穿工作服
。切斷氣源
。抽排(室內)或強力通風(室外)
。漏氣容器不能再用
，且要經過技術處理以清除可能剩下的氣體
。
二
、防護措施
：
呼吸係統防護
：空氣中濃度較高時
，應該佩戴防毒麵具
。緊急事態搶救或撤離時
，建議佩戴自給式呼吸器
。
眼睛防護
：一般不需要特殊防護
。
身體防護
：穿工作服
。
手防護：一般不需要特殊防護
。
其它
：避免高濃度吸入
。
三
、急救措施
吸入
：脫離現場至空氣新鮮處
。給輸氧
。呼吸停止時
，立即進行人工呼吸
。就醫
。
滅火方法
：切斷氣源
。噴水冷卻容器
，可能的話將容器從火場移至空曠處。霧狀水
。
